设备参数：
设备特性：
1、采用机械传动和运动控制技术。
2、设计新颖、结构合理、操控方便。
3、外形美观、性能稳定、品质可靠。
| 外形尺寸 |
9米x2.2米x2.2米（长x宽x高） |
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兼容产品尺寸 |
≤7吋 |
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设备精度 |
±0.02mm |
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FFU过滤精度 |
0.3um，99.999% |
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电源、气源 |
AC220V/50HZ/12KW 0.4-0.8Mpa |
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UPH |
1200 |
设备特性：
1、采用机械传动和运动控制技术。
2、设计新颖、结构合理、操控方便。
3、外形美观、性能稳定、品质可靠。
